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耗材配件 >> 工藝耗材 >> 直拉單晶,多晶鑄錠摻雜用高純度母合金
                

母合金摻雜劑

摻雜,又稱配料,摻雜的目的主要是用來改變硅熔體中施主雜質(如磷)或受主雜質(如硼)的雜質濃度,使其生長出的單晶電阻率達到規定的要求。所謂“母合金”就是雜質元素與硅的合金。本公司提供以下多種類型母合金:
■形狀

塊狀

■片狀

棒狀

■摻雜類型

■型號

P

N

■電阻率

0.001-0.006 Ω.CM

■確保每段電阻率偏差在0.0010.0005范圍內

濃度

硼含量(atom/cm3)=1.1732E201.6184E19

磷含量(atom/cm3)=7.3763E199.6552E18

碳含量(atom/cm3)<5E16

氧含量(atom/cm3)<1E18


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