- ? 檢測儀器
- ? 太陽能光伏質(zhì)量檢測儀器
- ? 硅料質(zhì)量檢測儀器
- ? 直拉或鑄錠質(zhì)量檢測儀器
- ? 切片質(zhì)量檢測儀器
- ? 電池片質(zhì)量檢測儀器
- ? 組件質(zhì)量檢測儀器
- ? 并網(wǎng)光伏發(fā)電系統(tǒng)
- ? LED藍(lán)寶石碳化硅質(zhì)量檢測儀器
- ? 輔料質(zhì)量檢測儀器
- ? 耗材配件
- ? 工藝耗材
- ? 儀器配件
- ? 軟件系統(tǒng)
- ? 工藝軟件
- ? 系統(tǒng)軟件
- ? 應(yīng)用軟件
- ? 檢測儀器置換
- ? 概述
- ? 儀器置換流程
- ? 置換注意事項(xiàng)
- ? 置換信息中心
- ? 設(shè)備維修
- ? PV設(shè)備升級
- ? 輔助設(shè)備維修
- ? 光伏認(rèn)證
- ? TUV
- ? UL
- ? CE
- ? 光伏電站
檢測儀器 >> LED藍(lán)寶石碳化硅質(zhì)量檢測儀器 >> 平整度測試系統(tǒng)：OWT-200
產(chǎn)品簡介：
OWT-200平整度測試系統(tǒng)，采用光學(xué)方法測量晶圓、藍(lán)寶石、Sic、Si、玻璃等材質(zhì)的表面特征，在無需任何接觸的情況下測量厚度、TTV、LTV、彎曲度、平整度等，可在線和離線測量。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
■厚度、TTV、LTV、翹曲度、彎曲度、平坦度測量；
■無接觸測量；
■無需校準(zhǔn)；
■高精度、高重復(fù)性；
■樣品臺可選：4寸、6寸、8寸；
■強(qiáng)大的分析軟件，可顯示3D表面形貌；
■同時(shí)進(jìn)行各種參數(shù)的測量，具備超高的測試速度；
技術(shù)參數(shù)：
■TTV
■精確度：±0.1um
■重復(fù)性精度：0.01um
■厚度
■精確度：±0.2um
■重復(fù)性精度：0.1um
■測試范圍：50-2000um
■翹曲度/彎曲度
■精確度：0.5um
■重復(fù)性精度：0.2um
■測試范圍：200um
■整機(jī)參數(shù)
■測量時(shí)間：<100秒
■最大測量尺寸：8寸
■尺寸：550*602*291mm
■整機(jī)功率：800W
典型客戶：
藍(lán)寶石、碳化硅、石英玻璃等透明或半透明晶片企業(yè)等。
版權(quán)所有：2008-2050合能陽光 京ICP備18015141號-1